国产高清av在线播放丨小小拗女性bbwxxxx国产丨国产精品黑色高跟鞋丝袜丨中文字幕无码视频手机免费看丨国产精品福利网丨久久久精品动漫丨大地资源中文第二页日本丨风间由美在线观看

HMDS預處理高溫烘箱

產品用途:該產品主要用于半導體行業，HMDS預處理系統通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。    

一、產品規格：

型號：BD/HMDS-6090   內形尺寸：450×450×450    

型號：BD/HMDS-6210   內形尺寸：560×640×600  

二、 技術參數：

1、控溫范圍：RT+10～250℃

2、溫度分辨率：0.1℃

3、溫度波動度：±1℃

4、達到真空度：小于133Pa

5、真空度：100Pa～100000Pa

6、定時范圍：1～9999min

7、工作室材料：316L

8、樣品架：2塊、3塊

9、真空泵：4L/S

10、電源電壓：220V/50Hz、380V/50Hz三相五線制

11、總功率：3000W、4500W

三、產品特點：

1、外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑。內膽、樣品機、連接管路均采用優質不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

2、箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

3、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

四、HMDS預處理系統操作流程：

1、首先確定烘箱工作溫度；

2、預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真牢度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到達到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分;

3、再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應;

4、當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業過程。

五、控制系統：

1、7.0英寸維綸彩色觸摸屏，三菱PLC控制器；

2、富士微電腦雙數顯溫度PID控制器，控溫精確可靠；

六、保護系統：

1、漏電保護；

2、超溫保護；

3、缺液保護；

七、設備使用條件：

1、環境溫度：5℃～＋28℃（24小時內平均溫度≤28℃）

2、環境濕度：≤85%R.H

3、操作環境需要室內通風良好,機器放置前后左右各80公分不可放置東西;

八、HMDS預處理高溫烘箱服務承諾：

保修十二個月，免費送貨上門,在對該設備安裝調試結束后,在用戶現場對相關技術人員免費做相應的操作培訓,人數不限。